產品詳細介紹特點:
*分辨率為0.1/0.5μm時,精度可高達(1.3+0.6L/600)μm;
*確保垂直度(前部)達6μm,直線度達4μm;
*全/半空氣浮動系統可調節氣墊;
*GO/NO-GO LED顯示.
*帶有基本統計功能,另外,通過RS-232C數據輸出與帶有SPC軟件的電腦相連,可實現外部測量數據評估;
*大容量數據存儲,可儲存50個測量程序和60000個測量結果
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